13.56MHz自動匹配器
概述:匹配器系統(tǒng)采用高速匹配算法,當接近匹配點時,這種高速匹配算法會逐漸的減緩系統(tǒng)的速度,即使在“Q”值很高時也很容易找到匹配點。匹配器可以很快的將輸入阻抗調(diào)整為50Ω,調(diào)整的準確性和可靠性可以很快的
產(chǎn)品性能
匹配器系統(tǒng)采用高速匹配算法,當接近匹配點時,這種高速匹配算法會逐漸的減緩系統(tǒng)的速度,即使在“Q”值很高時也很容易找到匹配點。匹配器可以很快的將輸入阻抗調(diào)整為50Ω,調(diào)整的準確性和可靠性可以很快的響應負載特性變化。
應用對象
該自動匹配器主要應用對象包括:刻蝕、ICP、光學鍍膜、等離子清洗、等離子體增強、感應加熱及PECVD等系統(tǒng)。
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